|
IBM продлила жизнь литографии
Работа, выполненная учеными IBM Almaden Research Center, возможно, позволит еще на семь лет отложить сроки перехода на радикально новые технологии изготовления микросхем, дав возможность продолжать пользоваться сегодняшним оборудованием. Исследователям удалось улучшить разрешающую способность оптической иммерсионной литографии, полагающейся на дальнее УФ-излучение, до 29,9 нм. Литографическая установка, получившая название Nemo, создана исследователями IBM совместно со специалистами компании JSR Micro. Система с помощью пересекающихся лучей лазера создает интерференционную картину, расстояние между полосами в которой втрое меньше, чем обеспечивает современное оборудование литографии. По словам исследователей, новая установка позволит вести изучение, пробы и оптимизацию различных жидкостей с высоким коэффициентом преломления. Разработка будет представлена на этой неделе на конференции Microlithography 2006.
osp.ru
__________________
Жизнь - игра. Задумана фигово, но графика обалденная!
|